经过反复测试和调整，传感器的测量误差成功控制在规定范围内。

机械运动系统初步完成后，玉龙和悟空对其进行了全面的测试。

工作台在导轨上平稳地移动，位置精度完全符合设计要求，传感器实时准确地反馈着工作台的位置信息。

“机械运动系统这一步算是成功了，接下来就是更为复杂的光学系统。光学镜片的制造对我们来说是个巨大的挑战。”玉龙说道。

“没错，尤其是物镜。我们要先准备好氟化钙晶体材料，这种晶体的生长需要特定的环境。我们需要搭建一个晶体生长炉，炉内的温度要控制在 1200 摄氏度左右，并且要保持温度的均匀性，温度波动不能超过 ± 1 摄氏度。同时，还要控制炉内的气压和气体成分，为晶体生长提供稳定的环境。”悟空说道。

玉龙立刻着手搭建晶体生长炉。

他利用自动化操作台，制造出了生长炉的主体结构，然后安装了高精度的温度、气压控制设备。

经过一番调试，晶体生长炉准备就绪。

玉龙将准备好的原料放入生长炉中，启动设备。

生长炉开始工作，内部温度逐渐升高，稳定在 1200 摄氏度。

在接下来的数天里，玉龙和悟空密切关注着晶体的生长情况。

“目前晶体生长状态良好，注意观察晶体的形态，确保没有缺陷。”悟空说道。

经过漫长的等待，一块高质量的氟化钙晶体终于生长完成。

玉龙将晶体取出，看着这块晶莹剔透的晶体，心中充满了期待。

接下来，便是对晶体进行研磨和抛光。

这是一项极其精细的工作，需要使用专门的光学研磨设备。

玉龙在悟空的指导下，调整研磨设备的参数，开始对晶体进行研磨。

“研磨过程中，压力要均匀分布，并且要不断调整研磨的方向，以保证镜片表面的精度。每研磨一段时间，就要进行一次测量，确保表面精度达到纳米级别。”悟空说道。

玉龙全神贯注地操作着设备，经过无数次的研磨和测量，镜片的表面精度逐渐达到了要求。然后，进行抛光处理，使镜片的表面更加光滑，透光率更高。

经过艰苦的努力，物镜终于制造完成。玉龙将物镜安装到光学系统的实验装置中，与其他光学元件进行组合调试。

“现在进行光学系统的整体调试，要通过精确的光学测量设备，对光线的传播路径、聚焦情况进行监测和调整。”悟空说道。

玉龙和悟空在实验室里忙碌了数天，对光学系统进行了反复的调试和优化。

最终，光学系统达到了预期的性能指标，光线能够准确地聚焦和传播，像差和误差都控制在极小的范围内。

“我们成功了，悟空！光刻机的三大关键系统都初步完成了！”玉龙兴奋地说道。

“这是一个了不起的成就，但我们还需要对整个光刻机进行整合和全面测试，确保各个系统之间能够协同工作，达到最佳的性能。”悟空说道。

玉龙点点头，充满信心地投入到下一步的工作中。

他知道，距离成功制造出光刻机还有一段路要走，但每一次的突破都让他更加坚信，清风寨在科技发展的道路上必将越走越远，创造出属于自己的辉煌 。

玉龙深吸一口气，抖擞精神，开始着手将各个系统整合到光刻机的整体架构中。

自动化操作台的机械臂在他的操控下，精准地将光源系统、机械运动系统和光学系统的各个部件一一就位，进行细致的连接与固定。